SOI; single proof-mass; gap closing electrode; and 3-axis accelerometer;
机译:在SOI晶片上实现缝隙闭合差分电容传感Z轴加速度计的实现
机译:具有完全差分间隙闭合电容感测电极的新型CMOS面外加速度计
机译:SOI电容式加速度仪检测中穿孔的阻尼优化分析
机译:一种新颖的基于SOI的单质量质量3轴加速度计,在所有感测方向上均具有间隙闭合差分电容电极
机译:针织纺织品的差电容传感系统
机译:用于重力测量的微机电系统加速度计的新型电容传感系统设计
机译:3轴力平衡加速度计使用单一校验质量
机译:使用单个质量块的3轴力平衡加速度计