一种基于SOI工艺及微组装技术的三轴电容式微加速度计

摘要

三轴电容式微加速度计包括SOI基片、质量块、挠性梁、齿枢、固定电极和活动电极。结构为中心对称图形，通过XY平面、Z轴方向的质量块分别感知三个正交方向的加速度。通过XY平面上的回形梁和Z轴方向上的挠性梁的设计，使得三个正交方向上的加速度灵敏度和分辨率都有所提高。除外，SOI工艺的应用，使本发明具有寄生电容小、短沟道效应小、速度快、集成度高、功耗低、耐高温、抗辐射等优点。最后，通过微组装技术这种新颖的方式有效的解决了微器件封装的难题。