Microshutters; Electrostatic; Actuation; Rotational; Fabrication; ALD; Aluminum oxide (Al_2O_3); Molybdenum nitride; Breakdown voltage; SOI; Silicon nitride (Si_3N_4); Silicon; FDTS; Vapor HF; Light shield;
机译:微快门阵列的二维静电驱动
机译:用于太空望远镜飞行任务的静电显微镜系统的成功示范
机译:用于低应力LPCVD氮化硅薄膜疲劳测试的静电执行器
机译:静电型氮化硅微恒阵列的制造
机译:静电驱动微悬臂阵列的建模和控制。
机译:N2气氛中硅铁直接氮化的短氮化硅纤维的制备与表征
机译:静电致动硅氮化硅微恒阵列的制造和子组装