スパッタ薄膜を電解めっきの電極として使用した スパッタBi_2Te_3膜/電解めっきBi_2Te_3ホモ積層膜の熱電性能評価

摘要

スパッタリング法で成膜した薄膜を電極として利用することで、めっき膜の熱電材料の熱電性能が向上することが確認されているり。また、めっき膜を熱処理することで熱電性能が向上することを知られている.