50 eV から15 keV の特性X線を用いたナノスケール構造中の精密定量分析を目指したTES 型X線マイクロカロリメータの開発

摘要

我々の研究グループでは、超伝導遷移端型X 線マイクロカロリメータ(TES カロリメータ) をサブマイクロスケールでの元素分析を可能とする走査透過型電子顕微鏡(STEM) のエネルギー分散分光器(EDS) として使用するSTEM-TES-EDS システムの開発を進めている。