使用X射线微量分析来确定复杂结构的化学成分的方法

摘要

一种用于使用微X射线荧光光谱法识别印刷线路组件中有害物质的方法，该印刷线路组件具有多个分立部件(图1)。使用微X射线荧光光谱法(μ-XRF)和/或X射线吸收精细结构(XAFS)光谱法作为检测分析仪，用于识别在电子设备中的有关材料。通过响应于参考数据库中的信息将设备或组件在X、Y和Z的方向上移动到探针下(130)，来确定在该组件上选定位置的元素组成(125)，以便分析所检验的设备或组件，该探针被设置在距用于分析的每个选定位置的最佳分析距离处(120)。然后，使每个选定位置处的所确定元素组成与参考数据库互相关，并且将所检测到的元素指定到该组件中的各种部件。