Silicon; Surface morphology; Etching; Chemical elements; Surface texture; Substrates; Scanning electron microscopy;
机译:催化剂形状和蚀刻剂组成对硅金属辅助化学刻蚀制造3D纳米结构中刻蚀方向的影响
机译:通过基于污点蚀刻的PS纳米结构提高晶体硅的电子质量,用于太阳能电池应用
机译:基于深反应离子刻蚀的硅高级刻蚀,用于硅高纵横比微结构和三维微纳结构
机译:化学氧化过程中污渍蚀刻硅纳米结构的光致发光和形态,应用于硅基太阳能电池
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:通过污点蚀刻形成纳米结构的硅表面
机译:通过污点蚀刻形成纳米结构的硅表面