SiC-MOSFETインバータ電源により生成した高繰り返しナノ秒パルスグロー放電発光の時空間分解計測

摘要

SiC-MOSFETインバータ電源を用いて準大気圧高繰り返 しナノ秒パルスグ口ー放電を生成し，その動的挙動を調査 した。低繰り返し周波数（20kHz)の場合には，パルス電圧 を平行平板電極間に印加直後，陰極近傍に発光がまず観測 され，発光が陰極表面全体に拡がった後，陽極にも発光が観 測された。それらの放電発光は電極間ギャップの中央に向 けてそれぞれ進展することが分かった。また，パルス電圧オ フ後のアフターグロー発光の寿命は約6μsであり，放電コ ラムが細くなりながら発光が消滅していく様子が観測された。一方，高繰り返し周波数（600 kHz)の場合には，アフ ターグ口ー発光が陰極近傍に局在化しており，次のパルス電圧が印加されるまで発光が持続していた。陰極からの2次 電子放出が高繰り返しナノ秒パルスグ口ー放電の放電維持 機構であることが示唆された。