イオン化蒸着法によるDLC 薄膜の成膜と 熱処理による電気的・光学的特性改善

摘要

ダイヤモンド状炭素（Diamond Like Carbon: DLC）はダイヤモンド構造のsp3結合とグラファイト構造のsp~2 結合が混在したアモルファスカーボンである．このsp~3，sp~2 結合の比率を変えることでDLC のバンドギャップ（Eg）が0.8～ 3.3 eV の間で可変されることから，半導体デバイスへの応用が期待される(1)．本稿ではイオン化蒸着法によって得られたDLC 薄膜に熱処理を施し，電気的・光学的特性を検証した結果について報告する．