ランタンタングステン熱陰極を用いたシートプラズマ生成用プラズマカソードの運転特性

摘要

プラズマの形状をシート状にすると，急峻な電子密度および温度勾配を持ち，安定した高温プラズマが生成される．そのため，局所的に高密度な磁化プラズマの生成を行えることから，効率的に短時間でスパッタリング蒸着や表面処理が可能となる． 本研究では熱陰極を用いたプラズマカソードより, シートプラズマを形成する. 熱陰極には通常のタングステンではなく, ランタンタングステンを用いる.ランタンタングステンを使用することで, タングステンと比較して, より低いフィラメント電力でプラズマの点弧が可能であると示唆されているので, 陰極付近の熱が抑制され, 装置の長時間運転が見込まれる.