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発光分光計測による電子エネルギー分布関数診断にむけた低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマの励起状態分布の解析

机译：发射光谱法分析用于电子能量分布函数的旋风微波放电氩等离子体的激发态分布

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電子エネルギー分布関数(EEDF)の発光分光計測(OES)による診断の実現が求められている．本研究では低温非平衡プラズマにおいて，EEDFが励起状態分布におよぼす影響を解析し，OESによる診断にむけた検討を行ったので報告する．

机译：电子能量分布函数（EEDF）的发射光谱需要通过测量来实现诊断（OES）。在这项研究中，EEDF用于低温非平衡等离子体。分析激发态分布和OES的影响为诊断报告检查。

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来源
《応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会》|2019年|07.082|共1页
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山下雄也; 赤塚洋;
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