衝突輻射モデルに基づく発光分光計測による低気圧マイクロ波放電Arプラズマの電子温度・密度診断

摘要

受動的な発光分光計測のみで行うことが出来る電子温度Te・密度Ne診断の手法は、非平衡プラズマに対しては十分に確立されていない。そのため、比較的簡便で安価な装置を用いてTe・Neを診断できる手法の開発が望まれている。そこで、筆者らは衝突輻射モデル(Collisional Radiative Model: CRモデル)に基づき、複数の発光線からT_e・N_eの診断を行うモデルを作成した。本研究では、作成した診断モデルの有用性を実験的に検討したので報告する。