机译:适用于65nm节点的工业300mm沟槽第一硬掩模BEOL架构
机译:BEOL处理:铜电镀,CMP挑战在65纳米节点及以后变得更加复杂
机译:具有极低k多孔SiOCH电介质的32 nm节点BEOL集成k = 2.3
机译:演示用于65纳米技术节点的可扩展的工业300mm BEOL集成
机译:针对先进半导体技术节点的BEOL互连堆栈的优化
机译:通过BEOL各向同性蚀刻获得的180nm CMOS技术中的共振MEMS压力传感器
机译:将搜索和浏览功能集成到文件系统中 - 扩展摘要 - 用于技术演示