nanoimprint lithography; NIL; overlay; HODC; drop pattern compensation; DPC;
机译:通过混合和匹配纳米压印和UV光刻实现多步轮廓
机译:纳米压印和lUV光刻:用于制造交叉指型纳米生物传感器的混合匹配工艺
机译:使用分子量混合聚合物的纳米压印光刻技术进行高纵横比图案转印的方法
机译:寻址纳米压印光刻混合和匹配叠加使用滴图案补偿
机译:用于功能聚合物图案化的纳米压印光刻
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:模式识别在混合匹配光刻中的应用
机译:纳米级磁电子器件平行构图的纳米压印光刻技术