EUV; Laser produced plasma; conversion efficiency; diffractive optics;
机译:利用EUV脉冲激发的散射或发光辐射,检测激光等离子EUV源强烈辐照引起的材料表面变化
机译:波长接近11 nm的Xe激光等离子体EUV辐射源-优化和转换效率
机译:增强微波发生器电源中谐振电压互感器的效率
机译:通过回收辐射功率提高EUV源效率
机译:EUV光刻专用的锡掺杂微滴激光等离子体光源的辐射研究。
机译:高功率太赫兹辐射源
机译:废物回收作为资源利用效率的提高方向