提高EUV和/或软X射线灯的转换效率的方法及相应装置

摘要

本发明涉及提高EUV和/或软X射线灯的转换效率的方法，其中发射EUV辐射和/或软X射线的放电等离子体(8)在由放电空间中的已蒸发液态材料形成的气态介质中产生，所述液态材料被设置在所述放电空间中的一个表面上，并且在能量束(9)的作用下至少部分蒸发。本发明还涉及相应的用于产生EUV辐射和/或软X射线的装置。在该方法中，由其质量数小于液态材料的化学元素的化学元素构成的气体(11)通过至少一个喷嘴(10)以受引导的方式被供应到所述放电空间和/或通向放电空间的供应路径上的液态材料，以便减小在所述放电空间中的已蒸发液态材料的密度。借助本方法和相应的装置能够提高灯的转换效率。