Data models; Semiconductor device modeling; Predictive models; Correlation; Metrology; Sensors; Plasmas;
机译:使用虚拟计量学的先进过程控制以应对蚀刻条件变化
机译:使用运行间控制,虚拟计量和故障检测的集成高级过程控制框架
机译:以沟槽蚀刻工艺为例的虚拟计量学可行性评估
机译:使用虚拟计量来控制蚀刻器条件的高级过程控制
机译:通过先进的过程/设备建模,控制和计量来提高IC制造性能
机译:一项随机对照试验对患有癫痫和其他慢性神经系统疾病的儿童的父母建立为父母赋权的机会(COPE)计划的功效
机译:虚拟计量学的高斯过程回归 等离子蚀刻
机译:先进的热管换热器和基于微处理器的调节燃烧器控制开发。 1985年1月至1987年12月的最终报告