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机译:以沟槽蚀刻工艺为例的虚拟计量学可行性评估
, Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB, Erlangen, Germany;
Boosting; Data models; Metrology; Prediction algorithms; Predictive models; Process control; Training; Advanced process control; manufacturing data processing; stochastic gradient boosting; virtual metrology;
机译:测量蚀刻沟槽和相关计量装置的计量方法
机译:使用虚拟计量学的先进过程控制以应对蚀刻条件变化
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