誘電泳動集積法で作製した各種ガスセンサによるCF_4 ガスの検出

摘要

本研究ではSF6 封入GIS の設備診断への応用を目的として、誘電泳動集積法により作製した各種半導体ガスセンサによるCF_4 の検出を試みた。その結果、SnO_2 ナノ粒子、Pt修飾ZnO ナノワイヤ、SnO_2 修飾CNT センサ等でCF4 を検出できることが示された。今後は実機運転条件を想定して、希釈ガスをSF6 に変更した場合のセンサ応答や、センサ感度の向上策などを検討する予定である。