Power spectrum estimation; spectral leakage; line-edge roughness;
机译:多酚EB抗蚀剂中线边缘粗糙度的光谱分析及其对晶体管性能的影响
机译:基于GLRT的频谱感应通过利用认知无线电网络的多销光谱估计
机译:带有套索惩罚的多锥Whittle方法的光谱估计
机译:线边缘粗糙度的多锥度和多段谱估计
机译:极紫外光刻中掩模的粗糙度引起的线边缘粗糙度
机译:EUV光刻胶的分子模型揭示了链构象对线边缘粗糙度形成的影响
机译:使用多重技术估计停止光谱位置线索使用多重技术估计与闭塞关节点相关的光谱特征