Actinic patterned mask inspection; lensless scattering methods; EUV reticle; high frame-rate detector; EUV source;
机译:RESCAN:用于检查EUV标线缺陷的光化无透镜显微镜
机译:使用EUV显微镜进行光化掩模检查:制备用于相缺陷检测的Mirau干涉仪
机译:GeneCite:用于高通量文献和途径挖掘的独立开源工具
机译:迈向独立的高通量EUV光化光掩模检测工具-RESCAN
机译:EUV掩模技术的主要挑战:光化掩模检测和掩模3D效果。
机译:ProphET,预购估算工具:具有自更新参考数据库的独立预购序列预测工具
机译:使用Rescan对EUV掩模术的幅度和相位缺陷检查
机译:双模光化EUV掩模检测工具