有機材料薄膜形成における蒸着速度と膜厚分布の関係

摘要

あらまし現在、有機ELデバイスは主に真空蒸着法によって作製されているが、大面積の基板に製膜を行う場合、 装置が大型化、高電力化が生じる。この問題を解決するため、小型で省スペース、低電力、安定性の高い有機薄膜形成用新規 小型石英セルの開発を目指している。今回はこの石英セルの膜厚分布特性、および蒸着速度の制御性についての検 討を行った。その結果、石英セルの膜厚分布はLambertの余弦則に概ね従うことがわかった。また、基板近傍の膜 厚モニターを必要としない蒸着速度制御の可能性を見出した。