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三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用

             

摘要

提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法 ,介绍了测量系统各部分的结构 ,给出了测量结果 实验表明 ,对于硅片上的PbTiO3薄膜 ,测试误差小于

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