MEMS技術を用いた指触覚呈示デバイスの設計と製作

摘要

現在，指の皮膚内にある触覚器官へ直接情報を提示する多くのデバイスが研究されている.超音波や振動などで擬似的に触覚情報を呈示するもの，直接的に触覚情報を呈示するものが開発や研究されている.しかし，提示精度と大きさの面から，装着型としての活用が難しい.本稿では，高密度な情報生成が可能であるMEMS技術を用いて，指腹に触覚呈示を行うデバイスを開発する.それは，高速で，大きな力が生成可能な圧電方式を採用した装着型MEMSデバイスを提案する.今回，男性100人から指の寸法調査を行い，指に装着できるデバイスの設計を3DCADソフト，製作を3Dプリンターで樹脂の造形を行った.次に触覚生成を行う5種類のアクチュエータを再設計して，Siの厚みとPZTの積層数を変更した条件で感覚器官へ与える変位量，Siの破断応力について評価を行った.