用于使用纳米制造的设备来测量分析物的设计和方法

摘要

提供用于使用量子隧穿效应来对线性生物分子（例如DNA、RNA、多肽、蛋白质等等）进行测序的设备、以及制造和使用这样的设备的方法。纳米制造的设备可以包括通过在两个电极之间沉积薄膜并且随后使用蚀刻工艺移除该膜而形成的小的间隙。结果得到的间隙的宽度可以与线性生物分子的大小相对应以使得当在间隙中存在生物分子（例如核酸碱基或氨基酸）的一部分时，可以测量隧穿电流、电压或阻抗中的变化并且识别生物分子的该部分。可以通过例如牺牲膜的原子层沉积（ALD）在原子尺度上精确控制间隙尺寸。可使用现有的集成电路制造装备和设施来制造该设备，并且多个设备可以被形成在单个芯片上。