Annealing; Atomic layer deposition; Doping; Germanium; Silicon; Substrates; Surface treatment; Chemistry; Doping; Germanium; Molecular Layer Doping; Silicon; Surface Functionalisation;
机译:通过分子掺杂技术掺杂的硅:掺杂的硅表面层对电特性的作用
机译:掺锗晶体硅:掺锗对硼相关缺陷的影响
机译:原位碳掺杂对硅上外延硅锗层注入损伤和应变弛豫的影响
机译:分子层掺杂:无损掺杂硅和锗
机译:硅/硅锗/硅异质结双极晶体管的基极掺杂效应和设计。
机译:用于垂直晶体管应用的磷掺杂硅/硅锗多层结构的生长和选择性蚀刻
机译:分子层掺杂:硅和锗的无损掺杂