electron-beam lithography; new dry method of microrelief creating; difractive optical elements; 3D-structures;
机译:直接对抗蚀剂进行电子束刻蚀形成掩模(浮雕)的新干法
机译:直接在抗蚀剂的电子束曝光期间直接形成光刻掩模或浮雕的新方法
机译:直接在抗蚀剂电子束曝光过程中形成掩盖图像(浮雕)的新方法
机译:平滑技术在直接写入电子束光刻产生的浮雕型抗蚀剂表面上的应用
机译:评估减轻负荷/恢复负荷的方法以防止整个电力系统-负荷产生不平衡造成的紧急情况崩溃
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:海藻糖甘油聚合物抗蚀剂允许通过电子束光刻直接写蛋白质图案