Channel; THz; dielectric waveguide; interconnect; micromachined; silicon; sub-THz;
机译:平面集成电路低成本互连的高效微加工亚太赫兹通道
机译:基于分层硅本体微加工的通道化共面波导的平面填充太赫兹天线阵列
机译:带有门控平面非对称纳米通道的压控亚太赫兹检测
机译:用于平面硅工艺的微机械的子THz互连通道
机译:Silicon Technologies中的毫米波和次太赫兹信号生成和检测
机译:三重热氧化和硅玻璃阳极键合制备和表征亚100/10 nm平面纳米流体通道
机译:用于平面集成电路的低成本互连的高效微机械子THZ通道