Silicon compounds; Films; Morphology; Random access memory; Epitaxial growth; Silicon germanium; Periodic structures;
机译:Si,SiGe和SiGe:B的无蘑菇外延选择性生长提高了源极和漏极
机译:Si:C / Si / SiGe的外延生长到通过选择性腐蚀SiGe形成的腔中
机译:通过原位掺杂选择性Cvd外延生长形成具有嵌入Sige源极/漏极的高Ge组分本征Sige-异质沟道Mosfets
机译:高级FDSOI技术优化SiGe选择性外延生长
机译:Si和SiGe / Si异质结构在热壁管状低压化学气相沉积系统中的选择性外延生长。
机译:集成选择性外延生长和选择性湿法刻蚀制造高质量和应变松弛的GeSn微盘
机译:在凹陷源和漏极处逐步siGe:B的选择性外延生长:生长动力学和应变分布研究