contact; patterning; lithography; self-aligned; spacer; core; frequency doubling;
机译:面向32 nm节点ArF浸没光刻的双图案化材料和工艺的开发
机译:间距为90 nm的25 nm接触孔的图案化:线/空间双曝光浸没光刻技术和等离子辅助收缩技术的结合
机译:利用双图案光刻技术应对32nm半间距挑战
机译:用于32/32nm接触/空间的自对准双图案化工艺及超出使用193浸入式光刻
机译:自对准双图案的蚀刻研究
机译:直接接触印刷光刻技术在软基板上构图的阵列金属纳米结构的波导等离子体共振
机译:用于双图案化朝向32nm节点ARF浸入光刻的材料和工艺的开发