机译:通过键合用于22-nm节点的自对准平面双栅极MOSFET,具有金属栅极,高kappa $电介质和金属源极/漏极
机译:具有复合$(hbox {In} _ {0.53} hbox {Ga} _ {0.47} hbox {As} / hbox {InAs} / hbox {In} _ {0.53} hbox {Ga} _ {{0.47} hbox {As})$通道和自对准MBE源漏恢复
机译:使用CVD $ hbox {HfO} _ {2} $栅极介电和Si表面钝化的自对准栅优先Ge p和n沟道MOSFET的特性
机译:III-V MOSFET:栅极堆叠的表面钝化,源/漏极和沟道应变工程,自对准接触金属化
机译:铟镓砷金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)具有5 nm沟道,并通过MBE再生长实现自对准源/漏。
机译:高性能矩形栅极U沟道FET的源极和漏极触点之间只有2nm的距离
机译:垂直堆叠纳米线MOSFET在替换金属栅极工艺中,内部间隔和SiGe源/排水管