Atomic physics; radiation-hydroduynamics; EUV lithography; atomic spectoscopy; laser-produced plasmas; spactral analysis; radiation transport;
机译:基于双流气扑目标激光等离子体源的EUV和SXR纳米成像系统的生物和材料科学应用
机译:使用紧凑型台式激光等离子EUV和SXR光源进行极紫外和软X射线成像
机译:利用EUV脉冲激发的散射或发光辐射,检测激光等离子EUV源强烈辐照引起的材料表面变化
机译:EUV / SXR等离子辐射源特性的优化
机译:EUV光刻专用的锡掺杂微滴激光等离子体光源的辐射研究。
机译:使用极端紫外(EUV)辐射和EUV诱导的氮等离子体的聚醚醚酮(PEEK)的物理化学表面改性
机译:EUV(极端超紫色)光源研究的现状和未来4.Aser产生的等离子体光源4.1激光产生的等离子体EUV源开发
机译:用于EUV光刻的激光产生等离子体的高级源研究