法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05G2/00 申请公布日:20121212 申请日:20110308
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H05G2/00 申请日:20110308
实质审查的生效
2012-12-12
公开
公开
机译: 用于EUV辐射源的束传送系统,EUV辐射源和产生EUV辐射的方法。
机译: 产生EUV辐射的方法借助于所述辐射辐射EUV辐射源单元和带有这种辐射源单元的光刻投影装置制造设备的方法
机译: 产生EUV辐射的方法,通过SAID辐射,EUV辐射源单元和带有这种辐射源单元的光刻投影设备制造设备的方法