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EUV辐射源以及EUV辐射产生方法

摘要

一种EUV辐射源包括配置成将燃料液滴传输至等离子体产生位置(201)的燃料供给装置(200);配置成提供第一激光束辐射(205)的第一激光束源,该第一激光束辐射在等离子体产生位置入射到燃料液滴上并由此蒸发燃料液滴;以及配置成随后在等离子体产生位置处提供第二激光束辐射(205)的第二激光束源,第二激光束辐射配置成蒸发由燃料液滴的不完全蒸发产生的碎片颗粒(252)。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-01-06

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05G2/00 申请公布日:20121212 申请日:20110308

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05G2/00 申请日:20110308

    实质审查的生效

  • 2012-12-12

    公开

    公开

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