EUV辐射源和相关方法

摘要

一种激光产生等离子体类型的EUV辐射源包括：被配置为产生燃料微滴的燃料发射器；以及被配置为利用辐射照射燃料微滴以在等离子体形成区域处将燃料微滴转换为等离子体的激光系统；其中激光系统包括：被配置为产生第一波长的辐射的激光器；以及非线性介质，非线性介质被配置为接收第一波长的辐射，在辐射转换区域处使用非线性光学过程来产生第二波长的辐射，并且将第二波长的辐射传输到等离子体形成区域；其中第二波长长于第一波长。