EUV reflectometer; EUV metrology; EUV mirror characterization; EUV collector;
机译:基于微波外差结构的转子 - 定子轴向间隙的高精度非接触在线测量方法
机译:高精度波前传感的鲁棒统计相分集法
机译:高精度同时测量表面轮廓和薄膜厚度使用线路白光色散干涉仪
机译:高精度EUV反射计
机译:适应性和学习控制器,用于改变条件的高精度轨迹跟踪
机译:通过复杂的模拟微生物体作为高精度和低成本方法的浅全部射击丸测序的特征
机译:具有小型量化量子重量计的高精度重力测量