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Self-locking vertical operation single crystal silicon micromirrors using silicon-on-insulator technology

机译：使用绝缘体上硅技术的自锁垂直操作单晶硅微镜

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《Electrical and Computer Engineering, 2005. Canadian Conference on》|2005年|P.429-432|共4页
会议地点
作者
See-Ho Tsang; Parameswaran M.;
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正文语种
中图分类工业技术;
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