Micromirrors; MOEMS; SOI; MicraGEM;
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:功率硅集成垂直DMOS和多晶硅CMOS薄膜晶体管的绝缘体上硅方法
机译:具有多晶硅弯曲的单晶硅微镜阵列
机译:使用绝缘体上硅技术的自锁垂直操作单晶硅微镜
机译:单晶薄膜绝缘体上硅(TFSOI)CMOS集成电路的物理和技术发展
机译:具有CMOS放大器芯片的温度补偿单晶绝缘硅(SOI)MEMS振荡器
机译:从集成单模波导到绝缘体上硅平台上的超准直光子晶体的高效光耦合