low-energy; electron-beam; maskless lithography; resist process; mark detection; in-situ measurement;
机译:通过低能电子束直接写入在硅衬底上直接制作热稳定氧化物图形的高灵敏度无机抗蚀剂
机译:电动流体动力学直接写入光刻技术:一种替代的无掩模技术,用于微结构制造
机译:电动流体动力学直接写入光刻技术:一种替代的无掩模技术,用于微结构制造
机译:无掩模光刻:低能量电子束直接写入系统,具有共同的CP-孔径和最近的进展
机译:直接写入无掩模光刻系统的无损压缩算法的体系结构和硬件设计。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:通过低能电子束光刻直接图案化化合物半导体薄氧化层,用于连续选择性区域生长
机译:用于可信赖的microchip生产的无掩模电子束光刻。