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Therma-wave dose sensitivity considerations, including energy dependence

机译：热波剂量敏感性考虑因素，包括能量依赖性

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《Ion Implantation Technology, 2000. Conference on》|2000年|P.674-677|共4页
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作者
Kamenitsa; D.; Lillian; P.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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