机译:锗和硼低温注入结合亚熔融激光尖峰退火减少p(+)Si扩散层中晶体缺陷的数量
机译:在CMOS技术中使用的共注入p +多晶硅栅极内,亚熔融激光退火引起的掺杂剂扩散和激活
机译:光热模拟用于研究先进CMOS技术中亚熔融激光退火工艺引起的图案效应
机译:亚熔体激光退火,然后是低温RTP,用于最小化扩散
机译:纳米颗粒作为反应性前体:通过低温退火和转化化学合成合金,金属间化合物和多金属氧化物。
机译:固溶钙钛矿太阳能电池固溶TiO2电子传输层的低温退火工艺研究
机译:使用p型和n型气相掺杂和亚熔体激光退火技术用于32 nm以下CMOS技术中的延伸结
机译:激光退火和激光诱导扩散在光伏转换中的应用