机译:热处理和等离子处理,用于改进(小于)1 nm等效氧化物厚度的平面和基于FinFET的替代金属栅极高k后器件,并支持简化的可扩展CMOS集成方案
机译:金属栅CMOS器件中HfO_2的等离子体蚀刻
机译:使用超低能量等离子体掺杂制造的先进65 nm CMOS器件
机译:等离子体电荷诱导CMOS器件中钨塞孔的腐蚀
机译:缩小CMOS和QCA之间的差距:单电子器件和CMOS技术的集成。
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:使用栅极感应的漏极泄漏电流进行电荷注入,以表征CMOS器件中的等离子体边缘损坏