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Modified particle detection method for reticle/mask particle detection system

机译:用于掩模版/掩模的粒子检测系统的改进的粒子检测方法

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摘要

Abstract: A false detect in light scattering particle detection system is mainly caused by scattering light from densely designed pattern. HORIBA has developed a new signal processing method for particle detection systems in order to reduce false detect. This method reduce the scattering light signals form densely designed pattern in particular. This paper describes the method and the test result. !0
机译:摘要:光散射粒子检测系统中的错误检测主要是由密集设计的图案中的光散射引起的。为了减少错误检测,HORIBA开发了一种用于粒子检测系统的新信号处理方法。该方法尤其减少了散射光信号形成密集设计的图案。本文介绍了方法和测试结果。 !0

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