Immersion lithography; haze related defect; mask transmission change; phase angle change; simulation;
机译:相移掩膜偏振法:使用相移掩膜监测193 nm高数值孔径的偏振和浸没式光刻
机译:用于193 nm干式和浸没式光刻的新型材料的开发
机译:开发用于193 nm干法和浸没式光刻的新型抗蚀剂材料
机译:干法和浸没式193 nm光刻技术的相位和透射掩模缺陷容忍度的比较研究
机译:用于自然缺陷分析的极紫外光刻掩模版的局部掩模图案
机译:异种移植冷冻干燥皮质牛异种移植冷冻干燥皮质新西兰白兔异种移植羟基磷灰石牛和异种脱钙骨基质牛在白兔股骨干骨缺损中移植骨的比较有效性:体内实验研究
机译:开发193-NM干燥和浸入式光刻的新型材料
机译:193-Nm光刻的全干抗蚀剂工艺