机译:MIS装置脉冲DC反应磁控溅射形成的氧氮化铪(HFO_XN_Y)薄膜的技术和优化
机译:硅对脉冲直流反应磁控溅射沉积纳米ZrN-Si涂层的微观结构和化学性能的影响
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机译:脉冲DC - 反应溅射的新视角
机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:镧的非反应性溅射沉积和氮化镧的反应性溅射沉积过程中结构形成的原位和实时监测
机译:超薄脉冲DC磁控溅射铝膜的优化,用于双曲超材料技术