Arsenic; Annealing; Junctions; Doping; Silicon; FinFETs; Coatings;
机译:磁控溅射低温TCO涂层的闪光灯退火(FLA):后生长后处理增强了高导电和透明的薄膜
机译:慢正电子注入光谱法(spis)探测闪光灯退火(fla)后Ge中的注入引起的开放体积缺陷
机译:用于硅薄膜形成的硅纳米粒子分散体的超声喷涂和闪光灯退火
机译:使用砷掺杂的溶胶 - 凝胶涂层(SGC)和闪光灯退火(FLA)来掺杂FinFET的SDE掺杂(FLA)
机译:闪光灯退火多晶硅的PMOS TFT工程源/通道/漏极区
机译:离子注入和闪光灯退火掺杂的锗中的电子浓度极限
机译:通过离子注入和闪光灯退火掺杂Ge的电子浓度极限