Optical waveguides; Propagation losses; Wet etching; Silicon; Surface waves; Optical surface waves; Dry etching;
机译:使用各向异性湿蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导
机译:使用SiO2硬掩模和基于氟的干法刻蚀可降低侧壁粗糙度的低损耗硅波导
机译:基于绝缘体上硅缝隙波导的光纤与波导之间的低损耗耦合器
机译:通过表面粗糙度降低实现的低损耗硅槽波导
机译:掺二氧化硅/硅纳米晶多层结构中的发光和缝隙波导效应。
机译:具有表面粗糙度的硅MEMS摩擦的描述:随机Prandtl–Tomlinson模型的优点和局限性以及振动引起的摩擦减小的模拟
机译:使用各向异性湿法蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导