Annealing; Capacitance-voltage characteristics; Capacitors; Hafnium; Silicon carbide; Temperature; Temperature measurement; Interface states; MOS capacitor; POA; SiC;
机译:电子回旋共振氢氮混合等离子体预处理SiC表面并结合后氧化退火钝化SiO2 / 4H-SiC界面缺陷
机译:纯氮气中后氧化退火对SiO2 / 4H-SiC界面氮化的研究
机译:电子回旋共振微波氮氢混合等离子体后氧化退火改善SiO2 / 4H-SiC界面性能
机译:SiO2 / 4H-SIC接口状态通过POCL3减少氧化退火
机译:使用热循环退火在硅片上生长的碲化镉和汞镉碲化镉的脱位密度降低
机译:N2O热处理后SiO2 / 4H-SiC界面的外观
机译:纯氮气中后氧化退火siO2 / 4H-siC界面氮化的研究