MEMS; accelerated aging test; packaging;
机译:高温MEMS封装:低键合压力下LiNbO_3的芯片连接解决方案
机译:晶圆级MEMS真空封装的钛基吸气剂解决方案
机译:适用于3D-IC / TSV,先进封装,MEMS和化合物半导体应用的单晶圆清洗解决方案
机译:对MEMS的准密封包装溶液评价
机译:电子封装和MEMS材料的微机械评估。
机译:从评估现有解决方案到为生物库提供全包服务
机译:采用封装内压力传感解决方案的MEMS密封封装,用于极其灵敏的加速度计
机译:微机电系统(mEms)和COTs mEms的互连和封装