Combined metrology; Ge composition control; HRXRD; MBIR; SE; doping control;
机译:结合计量技术在线控制薄SiGe:B层
机译:XPS纳米特征在高级CMOS技术中对薄SiGe通道层工艺开发和工业控制的好处
机译:Ar,Si和Ge离子注入技术制备高质量的Sige弛豫薄层
机译:将计量技术与薄SiGE相结合的好处:B层
机译:微电子和微机电系统的逐层纳米组装与微制造技术相结合。
机译:硬脂酸/层状双氢氧化物复合薄膜通过组合激光技术沉积
机译:硬脂酸/层状双氢氧化物复合薄膜通过组合激光技术沉积