Through-silicon vias; Plating; Nickel; Silicon; Chemistry; Resistance; Sputtering;
机译:高长宽比TSV的制造以及用于具有高密度互连的Si中介层技术的细间距低成本焊锡微凸块的组装
机译:具有通过硅通孔(TSV)插入器的大晶粒细间距铜/低k $ FCBGA封装的开发
机译:通过高通孔率工艺实现具有高纵横比,细间距贯穿封装的玻璃中介层的铜金属化
机译:TSV长宽比> 10的全填充,高可靠性细间距中介层,用于未来的3D-LSI / IC封装
机译:MEMS传感器封装和TSV中介层封装的应力和变形最小。
机译:在代表性浓度途径情景下归因于温度和PM10浓度升高的预测未来死亡率
机译:用于细间距晶圆级封装的电气测试的中介层的仿真和制造